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定位纹波

定位纹波也称“定位抖动”、“稳态误差”、“在位稳定性”,是指位移台在实现精密定位指令时,实际位置与目标位置之间的动态波动或振动导致的偏差。通常是位移台在静态停止过程中,因产品结构、控制算法或外部干扰等因素导致的位置误差。

 

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